新規半導体製造用クリーナーが界面ナノ電子化学研究会主催のポスター展で委員長特別賞を受賞

株式会社ダイセル(本社:大阪市北区、代表取締役社長:小河義美)は、公益社団法人応用物理学会界面ナノ電子化学研究会主催の「界面ナノ電子化学研究会フォーラム2020 Webポスター発表展」において、新規半導体製造用クリーナーに関する発表で委員長特別賞を受賞いたしました。

半導体の製造において、ウェハ表面を清浄化する技術は歩留まり向上の観点から極めて重要です。ポスター展では、独自の技術で開発した新規クリーナーの高い清浄性と機能発現のメカニズムに関して発表し、その優れた効果と独自の考察につき高い評価を頂きました。

当社の感光性樹脂および溶剤は先端半導体市場において高いシェアを有しており、新たに本新規クリーナーをラインナップに加えました。

今後も日進月歩の半導体業界のニーズに様々な価値を提供して参ります。

<本件に関する問い合わせ>

株式会社ダイセル
スマートSBU IC/半導体BU
レジスト材料グループ
TEL:03-6711-8138




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