ダイセルのナノダイヤソリューションのひとつ
「MEMS/NEMSダイヤモンドセンサー」。
世界最高感度のセンサーをつくる未来。
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MEMS/NEMSダイヤモンドセンサー
基板上ナノパターン配列技術
ナノダイヤ粒子を一粒一粒固体基板上の任意の位置に精密に配列させることができるダイセルのナノパターン配列技術。この技術によって、ナノダイヤをライン&スペース状にもドットアレイ状にもナノメートルスケールで精密に配置する事ができるようになり、応用の幅が一気に広がりました。たとえば、世界最高感度のMEMS/NEMSダイヤモンドセンサーへの応用が期待されます。
ダイセル独自のナノ構造ダイヤモンド製造方法
- 爆轟法によるナノダイヤ生成
- ナノスケールで基板上の任意の位置にナノダイヤを配列
- ナノスケールで配列したナノダイヤを種結晶として化学気相成長(CVD)法によりナノ構造ダイヤモンド作製


CVD成長
による接合

結晶をライン状に接合させたもの
基板上配列技術による今後の応用分野
- 電子放出素子
-
ダイヤモンドの特性として、低エネルギーで電子を固体から外に取り出せます。
配列させる技術を使えば、たとえば、液晶ディスプレー用蛍光画素などに使えます。 - 単一光子源
- 量子暗号通信や量子コンピューターを実現する鍵。光子や電子スピンをつくりやすいダイヤモンドを並べることができるので、これらのシステムに素子が作製可能となります。
- ナノスケール磁気センシング
- 現在では、生体中における微弱な磁気から電子デバイス中の3次元磁気イメージングに至るまで、磁気センサーの応用分野が広がりつつあります。磁気に敏感なダイヤモンドを精密に並べることができるので、より正確かつ詳細に磁場の情報をセンシングできます。
- 量子ビット
- 超高速の夢のコンピューターである量子コンピューターの実現には、その動作の核となる量子ビットが必要。量子ビットを形成できる材料は色々と提案されてきましたが、どれもマイナス何十度、何百度と冷やさないと動作しないので、日常環境では使えません。唯一、室温でも動作する可能性を秘めている量子ビット素材がダイヤモンドです。これを量子ビットとするには、NVセンターというダイヤモンド中の不純物欠陥を規則正しく並べる必要があり、なかなか難しい。このナノダイヤの配列技術は、それを可能にするかもしれません。